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ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐

簡要描述:ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐雙層爐殼結(jié)構(gòu),內(nèi)層不銹鋼,外層為碳鋼,中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體,石墨碳?xì)直貙颖匦Ч谩?/p>

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2021-10-29
  • 訪  問  量:1518
詳細(xì)介紹
品牌廈門地坤產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-145-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-220-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-270-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-550-15立式化學(xué)氣相沉積爐

一、設(shè)備用途:

化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制備。

二、設(shè)備特點(diǎn):

1、立式結(jié)構(gòu),爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動(dòng)升降。

2、雙層爐殼結(jié)構(gòu),內(nèi)層不銹鋼,外層為碳鋼,中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體,石墨碳?xì)直貙颖匦Ч谩?/span>

3、控制方式為PLC加觸摸屏方式,有手動(dòng)及自動(dòng)控制切換。自動(dòng)化程度高,操作方便。

4、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌,性能穩(wěn)定、可靠。

5、配備出、裝料料車,方便操作及出裝料,提高工作效率。

ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐三、主要技術(shù)參數(shù):

No.型號工作區(qū)尺寸(?XH)mm高溫度  (℃)真空度   (Pa)壓升率

 (Pa/h)溫度均勻性(℃)功率(KW)

1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060

2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145

3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220

4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275

5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550

注:爐膛尺寸可按您的要求定做

637711059472046819562.png




HZT-100-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

HZT-145-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

HZT-145-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

HZT-360-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

一、設(shè)備用途:

化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制備。

二、設(shè)備特點(diǎn):

1、臥式結(jié)構(gòu),雙爐門結(jié)構(gòu),爐門啟閉采用氣動(dòng)方式。

2、雙層爐殼結(jié)構(gòu),內(nèi)層不銹鋼,外層為碳鋼,中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體,石墨碳?xì)直貙颖匦Ч谩?/span>

3、控制方式為PLC加觸摸屏方式,有手動(dòng)及自動(dòng)控制切換。自動(dòng)化程度高,操作方便。

4、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌,性能穩(wěn)定、可靠。

5、配備出、裝料料車,方便操作及出裝料,提高工作效率。

三、主要技術(shù)參數(shù):

No.

型號

工作區(qū)尺

(WXHXL)mm

高溫度 

(℃)

真空度 

(Pa)

壓升率 

(Pa/h)

溫度均勻性

 (℃)

功率

 (KW) 

1

HZT-100-15

400X400X600

1500

1-100

0.67

±20

100

2

HZT-145-15

500X500X750

1500

1-100

0.67

±20

145

3

HZT-145-15

600X600X900

1500

1-100

0.67

±20

190

4

HZT-360-15

700X700X2000

1500

1-100

0.67

±20

360


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