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Z軸非接觸式測量儀WDK2010-Z

簡要描述:Z軸非接觸式測量儀WDK2010-Z
特點(diǎn):
以裂像聚焦指示器為測量原理, 采用高精度光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測方式進(jìn)行非接觸高低差測量。不僅可以對準(zhǔn)目標(biāo)影像, 還能觀察測量點(diǎn)的表面狀態(tài),對高度,深度,高低差等進(jìn)行測量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場,微分干涉,金相,偏光等多種觀察功能。所以對極細(xì)微的間隙高低差,夾雜物、微米以下的突起、細(xì)微劃痕、以及金相組織進(jìn)行觀察。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-08-20
  • 訪  問  量:731
詳細(xì)介紹
品牌廈門地坤

Z軸非接觸式測量儀WDK2010-Z

主要技術(shù)參數(shù):

1. 鏡筒:鉸鏈?zhǔn)饺款^部  30°傾斜   270°旋轉(zhuǎn)

2. 高眼點(diǎn)平場目鏡: WF10X/22

3.  平場復(fù)消色差物鏡:(可根據(jù)使用需求選擇不同倍率的物鏡)

f=200mm用全平場復(fù)消色差物鏡/M Plan APO

物鏡數(shù)據(jù)

 

倍率

2X

*5X

*10X

*20X

50X

100X

NA

0.055

0.14

0.28

0.42

0.55

0.55

W.D(mm)

34

34

33.5

20

13

13

焦點(diǎn)距離(mm)

100

40

20

10

4

2

分解率(µm)

5

2

1

0.7

0.5

0.5

焦深(µm)

91

14

3.58

1.6

0.9

0.9

Z軸非接觸式測量儀WDK2010-Z

注: 帶*號(hào)的為標(biāo)配物鏡

4. 水平轉(zhuǎn)換器:五孔轉(zhuǎn)換器,可對每個(gè)轉(zhuǎn)換口進(jìn)行調(diào)焦和調(diào)中,以消除物鏡和轉(zhuǎn)換器的制造誤差,保證測量精度。(本項(xiàng)已申請)

5. 落射式照明系統(tǒng): 高亮度LED燈(5W)

6. 調(diào)焦結(jié)構(gòu):粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 帶鎖緊和限位裝置,

粗動(dòng)升降范圍30mm,微動(dòng)格值,0.001mm*100格,數(shù)顯解析值 0.0005mm。

7. 透射光源:LED光源,1W,亮度可調(diào)

8. Z軸升降范圍:38mm以內(nèi),手輪轉(zhuǎn)動(dòng)130mm  允許較高工件 130mm, 導(dǎo)軌精度3+L/1000 um

X軸移動(dòng)范圍:200mm  解析率:0.001mm  可解鎖手動(dòng)快進(jìn),

Y 軸移動(dòng)范圍:100mm  解析率:0.001mm  可解鎖手動(dòng)快進(jìn),

測量精度(3+L/100)um  (L: 被測長度,um)

落射光測量誤差≤0.08%

9.Z軸采用裂像法原理進(jìn)行觀察測量,結(jié)合精密的Z軸導(dǎo)軌,可有效保證測量的準(zhǔn)確度。

10.工作臺(tái)尺寸: 360mm*250mm  玻璃板尺寸: 225mm *175mm  工作臺(tái)承重: 30kg

11.儀器外型尺寸:380mm*550mm*830mm

12.凈重:100kg  毛重:120kg

用途:

適用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片測試、半導(dǎo)體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導(dǎo)線框架等產(chǎn)品的檢查觀察.也適用于經(jīng)過磨拋、化學(xué)處理的工件表面的金相組織結(jié)構(gòu),幾何形狀進(jìn)行顯微觀測。并且有三維的測量功能,其解析率達(dá)0.0005mm。因此是精密零件,集成電路,半導(dǎo)體芯片,光伏電池,光學(xué)材料等行業(yè)的*儀器。

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